Specialty Gas

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Innovative Special Gas – CF3I 

Trifluoroiodomethane은 환경 친화적 물성의 무색 가스입니다. 대기 중 Lifetime은 2일 이내이며, 상당히 낮은 지구온난화지수와 오존파괴지수를 갖고 있습니다. 또한, 비가연성이고 독성이 다른 대체재에 비해 매우 낮습니다. 이러한 친환경성 뿐만 아니라 CF3I만의 훌륭한 물리적, 화학적 성질은 다양한 산업 분야에서 높은 활용도를 자랑합니다. 신속한 화재 진압, 절연용 가스, 반도체의 에칭 공정이 대표적인 Application입니다.

· 대표 Application
  에너지 송배전 산업 : SF6 가스 대체
  화재 방재 시스템 : Halon 가스 대체
  반도체 산업 : 에칭용 가스로 사용
  제약 산업 : Trifluoromethylation을 위한 중간체 (CF3I는 분리가 쉬운 C-I (54kcal/mol) 특성으로 인해 쉽게 분리됩니다.

CF3I Molecular Structure
· Production Description
Product Name Trifluoroiodomethane;
Perfluoromethyliodide
Synonyms FIC-13I1; Freon13I1; R13I1
Chemical Formula CF3I
GWP (100 years, CO2=1) <5
ODP (CFC-11=1) 0
Purity ≥99.0%

· GWP (Global Warming Potential; 지구온난화지수)
· ODP (Ozone Depression Potential; 오존파괴지수)
· Typical Physical or Chemical Properties
Appearance Colorless liquefied gas
Odor Threshold Odorless
Molecular Weight (g/mol) 195.91
Boiling Point (@ 1 atm, °C) -22.5
Melting Point (°C) -110
Vapor Pressure (@ 25°C, psia) 78.5
Critical Pressure (psia) 586
Critical Temperature (°C) 122
Critical Volume(cm3/mol) 225
Critical Density(g/cm3) 0.868
Flash Point (°C) Non-flammable
Solubility in water Slight
C-I bond Disassociation
energy (kcal/mol)		 54
친환경성 절연 가스 CF3I – 에너지/송배전 산업

· 용도
  에너지 송배전 G.I.L, G.I.S 절연 가스 충진 / SF6 가스 대체

· SF6 대비 장점
  절연 내력, 전기 음성도, 친환경성, 낮은 유독성, 비가연성
  우수한 Oil 용해성, 물질간 양립성, 절연 파괴 시, 분해에도 무해한 부산물

Chemical formula Equivalent
Molecular(Bohr3)		 Vertical ionization energy (eV) Vertical electron affinity (eV) Free orbital energy (eV)
SF6 562.987 14.652 -1.421 -2.412
CF3I 687.4 11.092 -1.934 -2.961
· Typical Physical or Chemical Properties
Chemical formula SF6 CF3I
ODP (CFC-11=1) 0 <0.0001
GWP (100years, CO2=1) 22800 ≤5
Atmosphere lifetime 3200 years <2 days
Boiling point -64°C -22.5°C
Dielectric strength 1 1.23
Decomposition products Hydrofluoric acid
sulfur dioxide sulfur
compounds		 Carbon Monoxide
Hydrofluoric acid
Hydrogen iodide
차세대 소화제 CF3I – 화재 방재 시스템

· 용도
  화재 지역에서 역 촉매 작용에 의한 불꽃의 연쇄 반응의 중단시킵니다. / Halon Gas 가스 대체

· 장점
  신속한 화재 진압 성능, VOC (Volatile Organic Compound) 배출 적음, 빛ㆍ산소ㆍ물 없이도 우수한 사용 안정성, 매우 낮은 유독성

· Alternate agent comparison between CF3I and Halon 1301
Agent Name Halon 1301 FIC-13I1
Chemical Formula CF3Br CF3I
Molecular Weight (g/mol) 149 196
Boiling Point (@ 1 atm, °F) -72 -8.5
Density @ 25°C (lb/cu.ft) 96.8 131
Fire extinguishing Design concentration (Volume%) 5 3.6
Fire extinguishing mass performance ratio 1.0 1.3
Fire extinguishing Volume performance ratio 1.0 0.9
ODP 12 0.0001
HGWP (CO2) 5400 <5
Atmospheric Lifetime (years) 65 <0.005
Low-K (저유전율) 에칭 – 반도체 산업

· 용도
  반도체 메모리 및 로직 제조 시 Low-K (저유전율) CF3I 에칭

· 장점
  ArF 포토레지스트의 Sidewall과 Surface의 Roughness 감소 낮은 GWP (Global Warming Potential; 지구온난화지수)